一种剥离装置及剥离方法

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专利类型
发明
申请号
CN201310313770.7
申请日
2013-07-24
公开(公告)号
CN104347449A
公开(公告)日
2015-02-11
发明(设计)人
郑功侑 黄添旺
申请人
申请人地址
201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
H01L2168 G02F11333 B32B3810
代理机构
隆天国际知识产权代理有限公司 72003
代理人
李昕巍;吕俊清
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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[10]
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