一种细硅料清洗装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201520887628.8
申请日
2015-11-09
公开(公告)号
CN205099790U
公开(公告)日
2016-03-23
发明(设计)人
陈伟 汪沛渊 李林东 肖贵云 金浩
申请人
申请人地址
334100 江西省上饶市经济开发区晶科大道1号
IPC主分类号
C30B3500
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
李海建
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种细硅料清洗装置 [P]. 
郭玲辉 ;
李灵慧 ;
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[3]
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夏金星 ;
何家壅 ;
杜农涛 ;
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[4]
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