观察装置以及观察方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610938893.3

申请日：

2016-10-31

公开(公告)号：

CN107034131A

公开(公告)日：

2017-08-11

发明(设计)人：

上喜裕远藤富男大野修松下朗谷川洋平

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C12M134

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-11	公开	公开
2018-11-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C12M 1/34 申请日:20161031
2022-03-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C12M 1/34 申请公布日:20170811

共 50 条

[1]

观察装置以及观察方法 [P].

高桥晋太郎 ;

平田唯史 ;

伊贺靖展 ;

泷本真一 ;

三由贵史 .

中国专利 :CN107003507A ,2017-08-01

[2]

干涉观察装置以及干涉观察方法 [P].

山内丰彦 ;

山田秀直 .

中国专利 :CN107209000A ,2017-09-26

[3]

观察装置、观察方法以及半导体装置的制造方法 [P].

山口芳广 ;

伊藤大介 .

日本专利 :CN120380588A ,2025-07-25

[4]

基板观察装置、基板观察方法以及控制装置 [P].

高木修 .

中国专利 :CN101587080A ,2009-11-25

[5]

观察装置、观察装置的控制方法和记录介质 [P].

青木崇人 .

中国专利 :CN107613217A ,2018-01-19

[6]

观察装置、观察装置的控制方法和记录介质 [P].

青木崇人 .

中国专利 :CN107699477A ,2018-02-16

[7]

观察装置、观察支援装置、观察支援方法以及程序 [P].

东条良 ;

羽根润 ;

藤田浩正 .

中国专利 :CN104736038B ,2015-06-24

[8]

观察装置、观察支援装置、观察支援方法以及程序 [P].

藤田浩正 ;

东条良 .

中国专利 :CN104755005A ,2015-07-01

[9]

观察装置、观察方法和观察系统 [P].

高桥笃史 ;

网野宏树 ;

八道刚 ;

野中修 .

中国专利 :CN107770419A ,2018-03-06

[10]

干涉观察装置及干涉观察方法 [P].

山内丰彦 ;

铃木那津辉 .

日本专利 :CN121079566A ,2025-12-05

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