真空腔体隔离装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920274206.8

申请日：

2009-12-01

公开(公告)号：

CN201673938U

公开(公告)日：

2010-12-15

发明(设计)人：

杨明生刘惠森范继良王伟郭远伦王曼媛王勇

申请人：

申请人地址：

523018 广东省东莞南城区宏图高新技术开发区黄金路东莞宏威数码机械有限公司

IPC主分类号：

H01L5156

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

张艳美;郝传鑫

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 51/56 申请日:20091201 授权公告日:20101215 终止日期:20131201
2015-11-04	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101723054541 IPC(主分类):H01L 51/56 专利号:ZL2009202742068 申请日:20091201 授权公告日:20101215 登记生效日:20150905 解除日:无
2014-01-08	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101684690212 IPC(主分类):H01L 51/56 专利号:ZL2009202742068 申请日:20091201 授权公告日:20101215 登记生效日:20131205 解除日:无
2014-10-22	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706149566 IPC(主分类):H01L 51/56 专利号:ZL2009202742068 申请日:20091201 授权公告日:20101215 登记生效日:无解除日:20140905
2010-12-15	授权	授权
2014-10-22	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706151704 IPC(主分类):H01L 51/56 专利号:ZL2009202742068 申请日:20091201 授权公告日:20101215 登记生效日:20140905 解除日:无
2020-01-10	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除 IPC(主分类):H01L 51/56 申请日:20091201 授权公告日:20101215 解除日:20191201
2015-11-04	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101723050258 IPC(主分类):H01L 51/56 专利号:ZL2009202742068 申请日:20091201 授权公告日:20101215 登记生效日:无解除日:20150905

共 50 条

[1]

真空腔体隔离机构 [P].

杨明生 ;

刘惠森 ;

范继良 ;

王伟 ;

郭远伦 ;

王曼媛 ;

王勇 .

中国专利 :CN101812670B ,2010-08-25

[2]

一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置 [P].

黄裕祥 .

中国专利 :CN205382206U ,2016-07-13

[3]

真空腔体遮挡装置 [P].

杨明生 ;

刘惠森 ;

范继良 ;

叶宗锋 ;

王曼媛 ;

王勇 .

中国专利 :CN101760720A ,2010-06-30

[4]

真空腔体吸附装置 [P].

文二龙 ;

许宏灿 .

中国专利 :CN209411272U ,2019-09-20

[5]

真空腔体阀板驱动装置 [P].

杨明生 ;

郭远伦 ;

刘惠森 ;

范继良 ;

王勇 ;

王曼媛 .

中国专利 :CN201696725U ,2011-01-05

[6]

真空腔体组件 [P].

张佶 ;

潘翔 ;

张轶鸣 ;

戴丽 ;

周立 .

中国专利 :CN204361049U ,2015-05-27

[7]

真空腔体组件 [P].

应刚 ;

张佶 ;

潘翔 ;

章凯 ;

谢文沛 ;

周立 .

中国专利 :CN204391039U ,2015-06-10

[8]

金属真空腔体 [P].

王汉清 ;

杨圆明 ;

赵鑫 .

中国专利 :CN209000861U ,2019-06-18

[9]

真空腔体 [P].

戴佳 ;

朱鹤囡 ;

董雪迪 ;

张武 ;

林佳继 .

中国专利 :CN307660597S ,2022-11-15

[10]

一种真空腔体 [P].

蒋建新 ;

刘欢 ;

陈晨 ;

李志仁 ;

李昌 ;

刘亚南 .

中国专利 :CN221854741U ,2024-10-18

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