一种微电子器件的除尘装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820555861.X

申请日：

2018-04-19

公开(公告)号：

CN211965214U

公开(公告)日：

2020-11-20

发明(设计)人：

南方

申请人：

申请人地址：

710077 陕西省西安市高新区丈八五路10号陕西省科技资源统筹中心A区二楼独立办公区2004室

IPC主分类号：

B08B500

IPC分类号：

B08B1504

代理机构：

西安智萃知识产权代理有限公司 61221

代理人：

赵双

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 5/00 申请日:20180419 授权公告日:20201120 终止日期:20210419
2020-11-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种微电子器件的除尘装置 [P].

南方 .

中国专利 :CN108515052A ,2018-09-11

[2]

微电子器件除尘装置 [P].

邱风 ;

赵振波 .

中国专利 :CN206443651U ,2017-08-29

[3]

一种微电子器件除尘装置 [P].

赵广辉 ;

阮佳程 ;

张若凡 ;

孙传宇 ;

季超 .

中国专利 :CN213435815U ,2021-06-15

[4]

一种微电子器件除尘装置 [P].

潘佳瑞 .

中国专利 :CN220901275U ,2024-05-07

[5]

微电子器件除尘装置 [P].

徐银森 ;

胡汉球 ;

李承峰 ;

刘建峰 ;

苏建国 ;

吴华 .

中国专利 :CN102599848A ,2012-07-25

[6]

一种微电子器件除尘装置 [P].

吴胜松 ;

叶桂如 ;

吴胜琴 .

中国专利 :CN109174819B ,2019-01-11

[7]

微电子器件编带的除尘装置 [P].

吴华 ;

袁宇锋 ;

朱元庆 .

中国专利 :CN111330917A ,2020-06-26

[8]

微电子器件编带的除尘装置 [P].

朱元庆 ;

袁宇锋 ;

吴华 .

中国专利 :CN111330917B ,2024-01-02

[9]

微电子器件 [P].

J·日默内·马蒂内 .

中国专利 :CN215600373U ,2022-01-21

[10]

一种用于微电子器件加工的传送装置 [P].

荆昊 .

中国专利 :CN216036791U ,2022-03-15

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