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一种硅片生产用转移装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920223763.0
申请日：
2019-02-22
公开(公告)号：
CN209418479U
公开(公告)日：
2019-09-20
发明(设计)人：
戴国华
辛毅
申请人：
申请人地址：
324300 浙江省衢州市开化县工业园区茶场片区银川路1号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427
代理人：
陈娟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-20 | 授权 | 授权 |