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Ⅲ族氮化物增强型HEMT器件及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110872694.8
申请日：
2021-07-30
公开(公告)号：
CN113594036A
公开(公告)日：
2021-11-02
发明(设计)人：
宁殿华
蒋胜
柳永胜
程新
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区高铁新城南天成路88号天成信息大厦601-A148室
IPC主分类号：
H01L21335
IPC分类号：
H01L2128
H01L29778
代理机构：
苏州三英知识产权代理有限公司 32412
代理人：
周仁青
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-02 | 公开 | 公开 |
| 2021-11-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/335 申请日:20210730 |