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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-02-19 | 授权 | 授权 |
| 2018-04-13 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/36 变更事项:专利权人 变更前:E2V技术(英国)有限公司 变更后:特励达易图威英国有限公司 变更事项:地址 变更前:英国埃塞克斯郡 变更后:英国埃塞克斯郡 |
| 2009-09-23 | 公开 | 公开 |
| 2011-05-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101069687739 IPC(主分类):H01J 25/50 专利申请号:2009101306329 申请日:20090320 |