一种热解氮化硼细颈蒸发坩埚

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220428456.4

申请日：

2012-08-27

公开(公告)号：

CN202865337U

公开(公告)日：

2013-04-10

发明(设计)人：

何军舫王军勇

申请人：

申请人地址：

101101 北京市通州区滨河路108号

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

C23C1634 C01B21064

代理机构：

北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348

代理人：

王伟锋;刘铁生

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-10	授权	授权
2019-06-14	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/448 登记生效日:20190524 变更事项:专利权人变更前权利人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司变更后权利人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:101101 北京市通州区滨河路108号变更后权利人:101101 北京市通州区滨河路108号变更事项:共同专利权人变更后权利人:博宇（朝阳）半导体科技有限公司博宇（天津）半导体材料有限公司
2021-08-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/448 申请日:20120827 授权公告日:20130410 终止日期:20200827

共 50 条

[1]

用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202865333U ,2013-04-10

[2]

用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202860943U ,2013-04-10

[3]

具有热解氮化硼保护层的蒸发坩埚 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202792948U ,2013-03-13

[4]

导电氮化硼蒸发坩埚 [P].

巩长生 ;

宫伯昌 ;

任学美 ;

巩晓 .

中国专利 :CN202329110U ,2012-07-11

[5]

组合式热解氮化硼坩埚内衬 [P].

朱明 ;

周星 ;

刘宏葆 ;

李重河 ;

毛协民 .

中国专利 :CN2901207Y ,2007-05-16

[6]

热解氮化硼坩埚的制备方法 [P].

胡丹 ;

朱刘 ;

余明 .

中国专利 :CN108193192A ,2018-06-22

[7]

热解一氮化硼坩埚和方法 [P].

A·Y·萨尼 ;

J·伦纳茨 ;

A·莫雷 ;

T·德万 .

中国专利 :CN1400336A ,2003-03-05

[8]

一种热解氮化硼坩埚及其制备方法 [P].

胡丹 ;

朱刘 ;

张贵林 .

中国专利 :CN106381476A ,2017-02-08

[9]

组合式热解氮化硼坩埚内衬 [P].

朱明 ;

周星 ;

刘宏葆 ;

李重河 ;

毛协民 .

中国专利 :CN1995884A ,2007-07-11

[10]

一种热解氮化硼沉积炉 [P].

张华芹 ;

程佳彪 ;

张冬翔 ;

李广敏 .

中国专利 :CN214218853U ,2021-09-17

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