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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-05-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609900840 IPC(主分类):C23C 26/00 专利申请号:2014106587809 申请日:20141118 |
| 2017-02-22 | 授权 | 授权 |
| 2015-04-22 | 公开 | 公开 |
| 2018-07-06 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):C23C 26/00 变更事项:发明人 变更前:许云华 赵娜娜 钟黎声 梁淑华 卢正欣 燕映霖 叶芳霞 王亮亮 邹军涛 肖鹏 变更后:赵娜娜 许云华 钟黎声 梁淑华 卢正欣 燕映霖 叶芳霞 王亮亮 邹军涛 肖鹏 |