一种抛光液及其制备方法和用途

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911286102.3

申请日：

2019-12-13

公开(公告)号：

CN110951401B

公开(公告)日：

2020-04-03

发明(设计)人：

李涛孙大陟

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号

IPC主分类号：

C11D166

IPC分类号：

C09G102 C23F300

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

潘登

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-27	授权	授权
2020-04-03	公开	公开
2020-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20191213

共 50 条

[1]

一种铜化学机械抛光液及其制备方法 [P].

李涛 ;

孙大陟 .

中国专利 :CN110951402A ,2020-04-03

[2]

一种抛光液及其制备方法、应用 [P].

张中明 .

中国专利 :CN112778912A ,2021-05-11

[3]

抛光液及其制备方法和应用 [P].

程好 ;

高永超 ;

杨淑平 ;

庄维伟 ;

张国栋 ;

蔡渊 .

中国专利 :CN103923571B ,2014-07-16

[4]

抛光液及其制备方法 [P].

李俊锋 ;

李青 ;

徐兴军 ;

张广涛 ;

闫冬成 ;

王丽红 ;

郑权 .

中国专利 :CN107629701B ,2018-01-26

[5]

一种化学机械抛光液及其制备方法和应用 [P].

张楠 ;

苏品全 ;

刘江华 .

中国专利 :CN119432235A ,2025-02-14

[6]

一种化学机械抛光液及其制备方法和应用 [P].

张楠 ;

苏品全 ;

刘江华 .

中国专利 :CN119432235B ,2025-07-18

[7]

一种抛光液及其制备方法和应用 [P].

许伟峰 ;

翟虎 ;

林宏达 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN118421207A ,2024-08-02

[8]

一种化学机械抛光液及其制备方法 [P].

刘源 ;

保罗·邦凡蒂 .

中国专利 :CN108117842A ,2018-06-05

[9]

一种化学机械抛光液及其制备方法 [P].

章建群 ;

章慧云 ;

黄晓伟 ;

刘华 ;

龚建国 .

中国专利 :CN105623526A ,2016-06-01

[10]

一种化学机械抛光液及其制备方法 [P].

陈凌 ;

王琰 ;

任琪 ;

程晓 .

中国专利 :CN104293207A ,2015-01-21

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