晶舟清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921085200.6

申请日：

2019-07-11

公开(公告)号：

CN209981183U

公开(公告)日：

2020-01-21

发明(设计)人：

王磊陈伯廷吴宗祐林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B308 B08B302

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;陈丽丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-21	授权	授权

共 50 条

[1]

晶舟清洗装置 [P].

李向辉 ;

王杨 ;

秦国强 ;

赵庆 ;

周成志 .

中国专利 :CN202087548U ,2011-12-28

[2]

晶舟装置 [P].

蔚海波 ;

曹巍 ;

王杰 .

中国专利 :CN221708673U ,2024-09-13

[3]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

[4]

晶圆清洗装置 [P].

吕慧超 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848866U ,2019-05-10

[5]

晶舟 [P].

孟敏 ;

贺鑫 .

中国专利 :CN222119475U ,2024-12-06

[6]

晶舟及炉管装置 [P].

邢国兵 ;

方桂芹 ;

黄仁德 .

中国专利 :CN208315519U ,2019-01-01

[7]

晶圆清洗装置 [P].

孙书雄 ;

张宏权 ;

庄武斌 ;

张锐 ;

李剑 .

中国专利 :CN214588757U ,2021-11-02

[8]

晶圆清洗装置 [P].

赵黎 ;

刘家桦 ;

卢思源 .

中国专利 :CN208127151U ,2018-11-20

[9]

晶圆清洗装置 [P].

卢思源 ;

陈章晏 ;

云巴图 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981177U ,2020-01-21

[10]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

李文超 ;

边逸军 .

中国专利 :CN218282848U ,2023-01-13

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