一种硅片镀膜生产线

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专利类型
实用新型
申请号
CN202121145122.1
申请日
2021-05-26
公开(公告)号
CN215288959U
公开(公告)日
2021-12-24
发明(设计)人
刘亚南 刘欢 田罡煜 王登志
申请人
申请人地址
215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号
IPC主分类号
C23C1644
IPC分类号
代理机构
北京金智普华知识产权代理有限公司 11401
代理人
蓝晓玉
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
镀膜生产线 [P]. 
李星 ;
徐日宏 .
中国专利 :CN201305625Y ,2009-09-09
[2]
镀膜生产线 [P]. 
王晓玲 ;
吴丰礼 ;
刘章秋 ;
吴畏 .
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[3]
一种ITO镀膜生产线 [P]. 
郭卫军 .
中国专利 :CN203700486U ,2014-07-09
[4]
一种ARC镀膜生产线 [P]. 
黄乐 ;
黄国兴 ;
祝海生 .
中国专利 :CN211734461U ,2020-10-23
[5]
一种卷绕镀膜生产线 [P]. 
李成林 ;
郝明 ;
杜雪峰 .
中国专利 :CN215103538U ,2021-12-10
[6]
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郭爱云 ;
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[7]
硅片的镀膜装置及硅片生产线 [P]. 
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王陈 ;
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[8]
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唐刚飞 ;
喻剑 ;
邓云军 ;
赵森 ;
翟腾飞 ;
李博隆 .
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[9]
一种连续式镀膜生产传输系统及双面镀膜生产线 [P]. 
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[10]
玻璃镀膜生产线 [P]. 
曹琦 ;
陈海峰 ;
左养利 ;
霍启科 ;
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易子杏 .
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