用于硅基电子产品生产过程中的尾气处理系统及方法

被引：0

申请号：

CN202210961389.0

申请日：

2022-08-11

公开(公告)号：

CN115414771A

公开(公告)日：

2022-12-02

发明(设计)人：

章莉姜利霞张升学汤传斌刘见华赵宇杨永亮严大洲

申请人：

申请人地址：

100038 北京市海淀区复兴路12号

IPC主分类号：

B01D5378

IPC分类号：

B01D5379 B01D5300 B01D2900

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

曹素云;董永辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/78 申请日:20220811
2022-12-02	公开	公开

共 50 条

[1]

用于硅基电子产品生产过程中的尾气处理系统 [P].

章莉 ;

姜利霞 ;

张升学 ;

汤传斌 ;

刘见华 ;

赵宇 ;

杨永亮 ;

严大洲 .

中国专利 :CN218485612U ,2023-02-17

[2]

用于硅基电子产品生产过程中的尾气处理系统及方法 [P].

章莉 ;

姜利霞 ;

张升学 ;

汤传斌 ;

刘见华 ;

赵宇 ;

杨永亮 ;

严大洲 .

中国专利 :CN115414771B ,2024-11-15

[3]

山梨酸生产过程中的尾气处理系统 [P].

付强 ;

刘宗飞 .

中国专利 :CN215196149U ,2021-12-17

[4]

一种用于电子产品生产过程中的切割装置 [P].

罗江君 ;

尚岚 ;

李红丽 .

中国专利 :CN109352720A ,2019-02-19

[5]

一种用于电子产品生产过程中的烘干装置 [P].

罗江君 ;

尚岚 ;

李红丽 .

中国专利 :CN209371690U ,2019-09-10

[6]

一种用于电子产品生产过程中的烘干装置 [P].

罗江君 ;

尚岚 ;

李红丽 .

中国专利 :CN109387050A ,2019-02-26

[7]

一种用于电子产品生产过程中的切割装置 [P].

罗江君 ;

尚岚 ;

李红丽 .

中国专利 :CN209364763U ,2019-09-10

[8]

一种电子产品生产过程中的清洁装置 [P].

任佳乐 .

中国专利 :CN210876368U ,2020-06-30

[9]

一种用于电子产品生产过程中的散热装置 [P].

罗江君 ;

尚岚 ;

李红丽 .

中国专利 :CN109328004A ,2019-02-12

[10]

一种三氯氢硅生产过程中尾气处理系统 [P].

陈盛 ;

刘广生 ;

闫天玥 ;

孙楠 ;

吴翠萍 .

中国专利 :CN223668960U ,2025-12-16

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