用于校正管式PECVD石墨舟菱形卡点的扳手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721008818.3

申请日：

2017-08-14

公开(公告)号：

CN207165530U

公开(公告)日：

2018-03-30

发明(设计)人：

马岳辉彭平夏中高顾鹏

申请人：

申请人地址：

452670 河南省许昌市襄城县产业集聚区(襄业路中段）

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

郑州科维专利代理有限公司 41102

代理人：

王年年

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-30	授权	授权

共 50 条

[1]

用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

刘兵吉 ;

杜武明 .

中国专利 :CN203998096U ,2014-12-10

[2]

PECVD用石墨舟卡点 [P].

叶飞 ;

蒋方丹 ;

金浩 .

中国专利 :CN205170969U ,2016-04-20

[3]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[4]

卡点、石墨舟片及石墨舟 [P].

李苗苗 ;

周海斌 .

中国专利 :CN207183244U ,2018-04-03

[5]

管式PECVD石墨舟工艺点上料装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205790036U ,2016-12-07

[6]

管式PECVD石墨舟工艺点安装装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205790035U ,2016-12-07

[7]

管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205856604U ,2017-01-04

[8]

PECVD用石墨舟卡点及其安装方法 [P].

陈庆敏 ;

卓倩武 ;

张旭冉 ;

俞玉松 .

中国专利 :CN118326374A ,2024-07-12

[9]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[10]

石墨舟卡点、石墨舟片及石墨舟 [P].

范洵 ;

付少剑 ;

郁寅珑 ;

张明明 .

中国专利 :CN218146938U ,2022-12-27

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