一种催渗等离子氮碳共渗与氮碳化钛复合膜层的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110063710.5
申请日
2011-03-16
公开(公告)号
CN102168269A
公开(公告)日
2011-08-31
发明(设计)人
侯惠君 代明江 林松盛 韦春贝 宋进兵
申请人
申请人地址
510651 广东省广州市天河区长兴路363号
IPC主分类号
C23C2804
IPC分类号
C23C836 C23C1636
代理机构
广东世纪专利事务所 44216
代理人
千知化
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种催渗等离子氮碳共渗与类金刚石复合膜层的制备方法 [P]. 
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