蓝宝石衬底抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420597458.5

申请日：

2014-10-16

公开(公告)号：

CN204118036U

公开(公告)日：

2015-01-21

发明(设计)人：

杨国峰杨文娟

申请人：

申请人地址：

310052 浙江省杭州市滨江区长河街道秋溢路428号2号楼一层

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-21	授权	授权
2017-12-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20141016 授权公告日:20150121 终止日期:20161016

共 50 条

[1]

LED蓝宝石衬底抛光装置 [P].

吴康 ;

李国红 ;

马跃东 ;

邓源 .

中国专利 :CN214135472U ,2021-09-07

[2]

蓝宝石衬底抛光装置 [P].

朱宁 ;

刘增伟 ;

魏行行 .

中国专利 :CN205588136U ,2016-09-21

[3]

一种蓝宝石衬底抛光装置 [P].

柳祝平 ;

黄小卫 ;

王联 .

中国专利 :CN202388365U ,2012-08-22

[4]

一种蓝宝石衬底抛光装置 [P].

秦国强 ;

林良坤 ;

钟国庆 ;

赵如璇 .

中国专利 :CN205968586U ,2017-02-22

[5]

蓝宝石衬底 [P].

石剑舫 .

中国专利 :CN202651186U ,2013-01-02

[6]

一种蓝宝石衬底片双面抛光装置 [P].

向齐涛 ;

沈思情 ;

刘浦锋 ;

宋洪伟 ;

陈猛 .

中国专利 :CN207372924U ,2018-05-18

[7]

蓝宝石衬底双面高效抛光装置及其抛光方法 [P].

郑东 ;

肖迪 ;

贾松松 ;

王鑫 .

中国专利 :CN118720891B ,2025-01-28

[8]

蓝宝石衬底双面高效抛光装置及其抛光方法 [P].

郑东 ;

肖迪 ;

贾松松 ;

王鑫 .

中国专利 :CN118720891A ,2024-10-01

[9]

蓝宝石衬底抛光液 [P].

牛新环 ;

崔雅琪 ;

王治 ;

周佳凯 ;

王如 ;

何彦刚 .

中国专利 :CN110885636A ,2020-03-17

[10]

蓝宝石衬底加工夹具 [P].

杨国峰 ;

杨文娟 .

中国专利 :CN204108828U ,2015-01-21

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