一种氧化物靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610217904.9

申请日：

2016-04-08

公开(公告)号：

CN105734508B

公开(公告)日：

2016-07-06

发明(设计)人：

何金江徐学礼陈淼琴万小勇丁照崇熊晓东李勇军

申请人：

申请人地址：

102200 北京市昌平区超前路33号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

黄家俊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-07-06	公开	公开
2019-08-16	授权	授权
2016-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101672625453 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2016102179049 申请日:20160408

共 50 条

[1]

一种氧化物靶材及其制备方法 [P].

张高祥 ;

王奇峰 ;

李开杰 ;

熊浩 ;

谭洪蕾 .

中国专利 :CN118771857A ,2024-10-15

[2]

一种氧化物靶材及其制备方法 [P].

徐苗 ;

徐华 ;

李民 ;

陶洪 ;

邹建华 ;

王磊 ;

彭俊彪 .

中国专利 :CN116199497B ,2024-10-29

[3]

一种氧化物靶材及其制备方法 [P].

邵学亮 ;

谭永健 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN112299823A ,2021-02-02

[4]

锡氧化物靶材及其制备方法 [P].

庄大明 ;

赵明 ;

郭力 ;

曹明杰 ;

李晓龙 ;

孙汝军 .

中国专利 :CN106191774A ,2016-12-07

[5]

一种氧化物靶材制备方法 [P].

陈惠鹏 ;

范裕阳 ;

李喜峰 ;

叶为熙 ;

林嘉明 ;

陈耿旭 ;

杨倩 .

中国专利 :CN117800711A ,2024-04-02

[6]

一种氧化物陶瓷靶材及其制备方法 [P].

许积文 ;

周贤界 ;

王华 ;

杨玲 ;

袁昌来 ;

张小文 .

中国专利 :CN104291792A ,2015-01-21

[7]

一种氧化物旋转靶材及其制备方法 [P].

张来稳 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113831141A ,2021-12-24

[8]

一种氧化物靶材、氧化物薄膜及其制备方法与应用 [P].

陈明飞 ;

王金科 ;

刘永成 ;

郭梓旋 ;

徐胜利 ;

陈明高 ;

江长久 ;

王志杰 ;

莫国仁 ;

李跃辉 .

中国专利 :CN116288180B ,2025-02-25

[9]

氧化物靶材及其制造方法 [P].

上坂修治郎 ;

内山博幸 ;

熊谷友正 ;

玉田悠 .

中国专利 :CN108950490B ,2018-12-07

[10]

一种氧化物靶材的制备方法以及镨掺杂IGZO氧化物靶材 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

钟威平 ;

高洋 .

中国专利 :CN118108497B ,2025-12-16

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