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压电位移驱动器的控制系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811538884.0
申请日：
2018-12-14
公开(公告)号：
CN111324050A
公开(公告)日：
2020-06-23
发明(设计)人：
陈巍
梁元博
罗栋
申请人：
申请人地址：
518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
IPC主分类号：
G05B19042
IPC分类号：
代理机构：
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304
代理人：
孙伟峰;黄进
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-23 | 公开 | 公开 |
| 2020-07-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 19/042 申请日:20181214 |