采用非平面工艺实现硅基二氧化硅波导偏振无关的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410031518.8

申请日：

2004-03-19

公开(公告)号：

CN1293399C

公开(公告)日：

2005-09-21

发明(设计)人：

安俊明李健郜定山夏君磊李建光王红杰胡雄伟

申请人：

申请人地址：

100083北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

G02B6136

IPC分类号：

G02B610

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汤保平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-01-03	授权	授权
2005-09-21	公开	公开
2009-05-20	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)

共 50 条

[1]

实现对称结构硅基二氧化硅应力光波导偏振不灵敏的方法 [P].

安俊明 ;

李健 ;

郜定山 ;

夏君磊 ;

李建光 ;

王红杰 ;

胡雄伟 .

中国专利 :CN1570686A ,2005-01-26

[2]

采用非平面工艺制备硅线波导的方法 [P].

安俊明 ;

吴远大 ;

李建光 ;

李俊一 ;

胡雄伟 .

中国专利 :CN101458361A ,2009-06-17

[3]

一种无掺杂硅基二氧化硅波导 [P].

冯丽爽 ;

王俊杰 ;

刘惠兰 .

中国专利 :CN103293597A ,2013-09-11

[4]

硅基二氧化硅波导和探测器垂直耦合结构 [P].

李岩 ;

张岩 ;

康佳 .

中国专利 :CN204347303U ,2015-05-20

[5]

一种硅基二氧化硅波导及其制作与应用方法 [P].

张小平 ;

单欣岩 ;

李铭晖 ;

张卫华 .

中国专利 :CN103364873B ,2013-10-23

[6]

抗辐射硅基二氧化硅光波导器件 [P].

崔鹏伟 ;

王玥 ;

张家顺 ;

安俊明 .

中国专利 :CN115657201A ,2023-01-31

[7]

硅基二氧化硅波导和探测器垂直耦合结构及其制备方法 [P].

李岩 ;

张岩 ;

康佳 .

中国专利 :CN104330858A ,2015-02-04

[8]

基于硅基二氧化硅波导双谐振腔的微光学陀螺 [P].

张春熹 ;

于怀勇 ;

冯丽爽 ;

邢济武 ;

洪灵菲 .

中国专利 :CN101294809B ,2008-10-29

[9]

用于制作光分路器的二氧化硅光波导的生产工艺 [P].

余波 ;

宗瑞朝 ;

黎林 ;

青晓英 ;

杜泽永 .

中国专利 :CN104360441A ,2015-02-18

[10]

二氧化硅基制品 [P].

朱利奥·保拉 ;

西蒙娜·佩德雷蒂 ;

安德烈亚斯·吕克曼 ;

马西莫·斯帕尔帕廖内 .

中国专利 :CN1761627A ,2006-04-19

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