检查装置和检查方法以及程序

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880063052.X

申请日：

2018-09-20

公开(公告)号：

CN111164405A

公开(公告)日：

2020-05-15

发明(设计)人：

木村胜治山中寛之古川勇治原田康平高桥浩典后藤启幸龙平一郎馆林克明

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G01M1100

IPC分类号：

G02B500 H01L2166

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290

代理人：

梁兴龙;曹正建

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/00 申请日:20180920
2020-05-15	公开	公开

共 50 条

[1]

检查装置、检查方法以及程序 [P].

小西嘉典 .

中国专利 :CN109791088A ,2019-05-21

[2]

检查方法、检查装置以及程序 [P].

桥本伸一郎 .

日本专利 :CN119816715A ,2025-04-11

[3]

检查装置、检查方法以及程序 [P].

池田祐一 ;

宫泽一之 ;

峯泽彰 ;

德幸博 .

中国专利 :CN114096997A ,2022-02-25

[4]

检查装置、检查方法以及程序 [P].

小西嘉典 .

中国专利 :CN109791089A ,2019-05-21

[5]

检查方法、检查装置以及程序 [P].

桥本伸一郎 .

日本专利 :CN119604758A ,2025-03-11

[6]

检查装置、检查方法以及检查程序 [P].

木藤圭亮 ;

河内清人 ;

山本匠 ;

西川弘毅 .

中国专利 :CN112204528A ,2021-01-08

[7]

检查方法、检查装置以及检查用程序 [P].

太田佳秀 ;

加藤训之 .

中国专利 :CN101776618A ,2010-07-14

[8]

检查装置、检查方法以及检查程序 [P].

饭田大贵 .

日本专利 :CN120396968A ,2025-08-01

[9]

检查装置、检查方法以及检查装置用程序 [P].

栗原靖人 .

中国专利 :CN113227798A ,2021-08-06

[10]

检查装置、检查方法和程序 [P].

高岛昌利 ;

小川哲 ;

村上芳弘 ;

松井启 .

中国专利 :CN107529726A ,2018-01-02

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