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一种芯片吸取方法及双吸头芯片吸取装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111193104.5
申请日：
2021-10-13
公开(公告)号：
CN113921450A
公开(公告)日：
2022-01-11
发明(设计)人：
王毅
文莲
张占平
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区福城街道桔塘社区新塘村62号东方华意家私厂厂房1栋201(1到4层)
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2168
代理机构：
深圳市深可信专利代理有限公司 44599
代理人：
李宇绘
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-11 | 公开 | 公开 |
| 2022-01-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20211013 |