MEMS电控动态增益均衡器芯片的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200410093144.2
申请日
2004-12-17
公开(公告)号
CN1280178C
公开(公告)日
2005-06-01
发明(设计)人
赖宗声 王连卫 忻佩胜 彭德艳 李国栋 汪绳武
申请人
申请人地址
200062上海市中山北路3663号
IPC主分类号
B81C100
IPC分类号
H01L3118
代理机构
上海德昭知识产权代理有限公司
代理人
程宗德;石昭
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
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