一种平面电动机驱动的磁悬浮粗微动一体掩模台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410174870.0

申请日：

2014-04-28

公开(公告)号：

CN104122759A

公开(公告)日：

2014-10-29

发明(设计)人：

张鸣朱煜支凡成荣杨开明刘召张利秦慧超赵彦坡田丽叶伟楠张金尹文生穆海华胡金春

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101739804610 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014101748700 申请公布日:20141029
2014-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101589570178 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014101748700 申请日:20140428
2014-10-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种平面电动机驱动的磁悬浮粗微动一体掩模台 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

支凡 ;

成荣 ;

杨开明 ;

刘召 ;

张利 ;

秦慧超 ;

赵彦坡 ;

田丽 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN203838475U ,2014-09-17

[2]

一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

支凡 ;

刘召 ;

成荣 ;

杨开明 ;

张利 ;

秦慧超 ;

赵彦坡 ;

田丽 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN203838476U ,2014-09-17

[3]

一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

支凡 ;

刘召 ;

成荣 ;

杨开明 ;

张利 ;

秦慧超 ;

赵彦坡 ;

田丽 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103926805A ,2014-07-16

[4]

一种磁悬浮电动机 [P].

张正 .

中国专利 :CN208445498U ,2019-01-29

[5]

一种电磁悬浮电动机 [P].

张广一 .

中国专利 :CN106230321A ,2016-12-14

[6]

一种磁悬浮电动机 [P].

漆亚梅 .

中国专利 :CN202353504U ,2012-07-25

[7]

一种智能球形磁悬浮电动机 [P].

阚雪芬 ;

李佳 ;

殷澄 ;

单鸣雷 .

中国专利 :CN110707966A ,2020-01-17

[8]

一种无轴承磁悬浮电动机 [P].

王韵涵 ;

杨燕 ;

杨廷柱 .

中国专利 :CN221531219U ,2024-08-13

[9]

一种悬浮驱动一体化的磁悬浮系统及悬浮驱动方法 [P].

邓自刚 ;

石洪富 ;

向雨晴 ;

郑珺 ;

黄欢 .

中国专利 :CN113415171A ,2021-09-21

[10]

一种多重效应磁悬浮交流电动机 [P].

曾知行 .

中国专利 :CN121055811A ,2025-12-02

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