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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-09-14 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 IPC(主分类):H01L 31/048 申请日:20150918 授权公告日:20160330 登记生效日:20180821 |
| 2022-08-26 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/048 申请日:20150918 授权公告日:20160330 终止日期:20210918 |
| 2019-04-16 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 IPC(主分类):H01L 31/048 申请日:20150918 授权公告日:20160330 登记生效日:20190311 |
| 2021-04-27 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 IPC(主分类):H01L 31/048 申请日:20150918 授权公告日:20160330 解除日:20210311 |
| 2016-03-30 | 授权 | 授权 |
| 2019-04-16 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 IPC(主分类):H01L 31/048 申请日:20150918 授权公告日:20160330 解除日:20190221 |