一种平板抽屉式光罩储存柜

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201620146367.9
申请日
2016-02-26
公开(公告)号
CN205542728U
公开(公告)日
2016-08-31
发明(设计)人
金卫 许青峰 朱骏 吕煜坤
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
代理机构
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
智云
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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