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以氟化石墨烯为绝缘层的硅基雪崩光电探测器及制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410390804.7
申请日：
2014-08-08
公开(公告)号：
CN104300029B
公开(公告)日：
2015-01-21
发明(设计)人：
徐杨 万霞 孟楠 陆薇 阿亚兹 王锋 施添锦 俞滨
申请人：
申请人地址：
310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
IPC主分类号：
H01L31107
IPC分类号：
H01L3118 H01L310224 H01L31032
代理机构：
杭州求是专利事务所有限公司 33200
代理人：
邱启旺
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2016-11-30 授权 授权
2015-02-18 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101599230759 IPC(主分类):H01L 31/107 专利申请号:2014103908047 申请日:20140808
2015-01-21 公开 公开
共 50 条
[1]
以氟化石墨烯为吸收层的紫外雪崩光电探测器及制备方法 [P]. 
徐杨 ;
孟楠 ;
万霞 ;
陆薇 ;
王雪 ;
郭宏伟 ;
阿亚兹 ;
俞滨 .
中国专利 :CN104300028A ,2015-01-21
[2]
基于石墨烯/硅/石墨烯的雪崩光电探测器及其制备方法 [P]. 
徐杨 ;
万霞 ;
王雪 ;
郭宏伟 ;
王锋 ;
施添锦 ;
孟楠 ;
俞滨 .
中国专利 :CN104157721B ,2014-11-19
[3]
氟化石墨烯在制备光电探测器件中的应用 [P]. 
王兰喜 ;
陈学康 ;
郭磊 ;
曹生珠 ;
吴敢 .
中国专利 :CN102881759B ,2013-01-16
[4]
一种混合结构的石墨烯硅基雪崩光电探测器及制备方法 [P]. 
徐杨 ;
郭宏伟 ;
万霞 ;
王锋 ;
施添锦 ;
孟楠 ;
王雪 ;
俞滨 .
中国专利 :CN104157720A ,2014-11-19
[5]
基于石墨烯/二氧化硅/硅的雪崩光电探测器及制备方法 [P]. 
徐杨 ;
万霞 ;
郭宏伟 ;
施添锦 ;
王锋 ;
阿亚兹 ;
陆薇 ;
俞滨 .
中国专利 :CN104300027B ,2015-01-21
[6]
一种以氟化氮掺杂石墨烯为吸收层的紫外雪崩光电探测器 [P]. 
姜京勤 .
中国专利 :CN107154438A ,2017-09-12
[7]
基于石墨烯/掺硼硅量子点/硅的光电探测器及制备方法 [P]. 
徐杨 ;
刘雪梅 ;
马玲玲 ;
皮孝东 ;
仇晓东 ;
杜思超 .
中国专利 :CN106784122B ,2017-05-31
[8]
一种硅-石墨烯雪崩光电探测器 [P]. 
戴道锌 .
中国专利 :CN104157722B ,2014-11-19
[9]
一种基于硅/氟化石墨烯的双工作模式宽波段光电探测器及其制备方法 [P]. 
吴春艳 ;
徐际宇 ;
朱慧男 ;
谢超 ;
罗林保 .
中国专利 :CN108878575B ,2018-11-23
[10]
基于宏观组装石墨烯/外延硅肖特基结的红外雪崩光电探测器及其制备方法 [P]. 
徐杨 ;
李宗文 ;
曹小雪 ;
张致翔 ;
田丰 ;
柴健 ;
俞滨 .
中国专利 :CN115332385A ,2022-11-11
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