喷淋蚀刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711153828.0

申请日：

2017-11-20

公开(公告)号：

CN108034946B

公开(公告)日：

2018-05-15

发明(设计)人：

王秋旺辛菲马挺李雄辉邓天瑞

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

H05K306

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

徐文权

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-15	公开	公开
2019-04-02	授权	授权
2018-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/08 申请日:20171120

共 50 条

[1]

蚀刻喷淋装置 [P].

杨府 .

中国专利 :CN203896601U ,2014-10-22

[2]

一种多参数自动调控高效旋转式喷淋蚀刻系统 [P].

曾敏 ;

张廉洁 ;

李雄辉 ;

邹安琪 ;

马挺 ;

王秋旺 .

中国专利 :CN111901979B ,2020-11-06

[3]

新型蚀刻液喷淋装置 [P].

张海波 ;

薛雄师 .

中国专利 :CN204906874U ,2015-12-23

[4]

喷淋蚀刻机 [P].

蒲中军 ;

邓飞 ;

徐晓君 ;

王川 ;

吴永寿 ;

宣继 ;

李政昊 ;

王月利 ;

钟耀 ;

邓欢 .

中国专利 :CN104445969A ,2015-03-25

[5]

喷淋蚀刻机 [P].

蒲中军 ;

邓飞 ;

徐晓君 ;

王川 ;

吴永寿 ;

宣继 ;

李政昊 ;

王月利 ;

钟耀 ;

邓欢 .

中国专利 :CN204174097U ,2015-02-25

[6]

TFT基板喷淋装置及蚀刻系统 [P].

李嘉 .

中国专利 :CN104330907A ,2015-02-04

[7]

喷淋系统以及蚀刻装置 [P].

窦福存 ;

蒋新 ;

施利君 .

中国专利 :CN221304596U ,2024-07-09

[8]

一种定点喷淋装置及蚀刻液喷淋系统 [P].

王长兴 ;

何闪 .

中国专利 :CN120210815A ,2025-06-27

[9]

蚀刻喷淋装置 [P].

郭提建 .

中国专利 :CN213739695U ,2021-07-20

[10]

喷淋蚀刻机 [P].

顾叶锋 ;

王娟 ;

吴蕴瑶 .

中国专利 :CN214937812U ,2021-11-30

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