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一种硅片冷却装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721542815.8
申请日：
2017-11-17
公开(公告)号：
CN207676883U
公开(公告)日：
2018-07-31
发明(设计)人：
杨健
党继东
申请人：
申请人地址：
215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L3118
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
胡彬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-07-31 | 授权 | 授权 |
| 2021-02-19 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 变更后:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 变更事项:地址 变更前:215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号 变更后:215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号 变更事项:专利权人 变更前:盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 阿特斯阳光电力集团有限公司 变更后:阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司 阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |