一种疏水DLC涂层的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810358030.8
申请日
2018-04-20
公开(公告)号
CN108677142B
公开(公告)日
2018-10-19
发明(设计)人
廖斌 欧阳晓平 张丰收 张旭 吴先映
申请人
申请人地址
100875 北京市海淀区新街口外大街19号
IPC主分类号
C23C1406
IPC分类号
C23C1402 C23C1432 B01D3506
代理机构
北京名华博信知识产权代理有限公司 11453
代理人
李冬梅;苗源
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[8]
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林晨 ;
肖鹏飞 .
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