一种刻蚀机线圈调整结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022293567.6
申请日
2020-10-15
公开(公告)号
CN213691956U
公开(公告)日
2021-07-13
发明(设计)人
朱伟明 陈亮 史伟言 徐良 刘建哲 李京波
申请人
申请人地址
245000 安徽省黄山市屯溪区九龙低碳经济园区翠薇北路66号
IPC主分类号
H01J3732
IPC分类号
H01L2167 H01L3320
代理机构
芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙) 34128
代理人
曹宏筠
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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