硅晶锭切割装置及切割方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010563594.9

申请日：

2010-11-29

公开(公告)号：

CN102107464A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

陈平

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路181号

IPC主分类号：

B28D504

IPC分类号：

代理机构：

上海智信专利代理有限公司 31002

代理人：

王洁;郑暄

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-29	公开	公开
2014-02-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101690502774 IPC(主分类):B28D 5/04 专利申请号:2010105635949 申请公布日:20110629
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096109119 IPC(主分类):B28D 5/04 专利申请号:2010105635949 申请日:20101129

共 50 条

[1]

硅锭切割设备和硅锭切割方法 [P].

卢建伟 ;

李鑫 .

中国专利 :CN110497542A ,2019-11-26

[2]

晶锭切割装置 [P].

全志原 .

中国专利 :CN107708949A ,2018-02-16

[3]

硅锭切割装置 [P].

周炳利 ;

谭鑫 .

中国专利 :CN203401615U ,2014-01-22

[4]

晶锭切割装置 [P].

叶宸夆 ;

杨尚伟 .

中国专利 :CN105479605A ,2016-04-13

[5]

硅锭切割机的工作台、硅锭切割机及硅锭切割方法 [P].

卢建伟 .

中国专利 :CN106182479A ,2016-12-07

[6]

硅锭切割的方法 [P].

陈建 ;

王禄宝 .

中国专利 :CN102700013A ,2012-10-03

[7]

晶锭线切割装置 [P].

郡司拓 ;

贺贤汉 .

中国专利 :CN102922612A ,2013-02-13

[8]

晶锭线切割装置 [P].

郡司拓 ;

贺贤汉 .

中国专利 :CN203046010U ,2013-07-10

[9]

硅晶圆切割装置及方法 [P].

林家新 ;

焦波 ;

郑盼 ;

温尧明 ;

覃忠贤 ;

谢圣君 ;

吕启涛 ;

高云峰 .

中国专利 :CN112809170A ,2021-05-18

[10]

硅锭切割设备 [P].

卢建伟 ;

李鑫 .

中国专利 :CN208215714U ,2018-12-11

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