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光刻掩模位相冲突的解决方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN02811546.5
申请日：
2002-06-07
公开(公告)号：
CN100535745C
公开(公告)日：
2005-07-06
发明(设计)人：
克里斯托夫·皮拉特
米歇尔·L·科特
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
G03F700
IPC分类号：
代理机构：
北京市柳沈律师事务所
代理人：
陶凤波;侯 宇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-09-02 | 授权 | 授权 |
| 2009-10-21 | 专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) | 专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更事项:专利权人 变更前权利人:新思合并控股有限公司 变更后权利人:新思公司 变更事项:地址 变更前权利人:美国加利福尼亚州 变更后权利人:美国加利福尼亚州 登记生效日:20090911 |
| 2017-07-21 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101736160930 IPC(主分类):G03F 7/00 专利号:ZL028115465 申请日:20020607 授权公告日:20090902 终止日期:20160607 |
| 2005-08-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2005-07-06 | 公开 | 公开 |
| 2009-10-21 | 专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) | 专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更事项:专利权人 变更前权利人:数字技术公司 变更后权利人:新思合并控股有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:美国加利福尼亚州 变更后权利人:美国加利福尼亚州 登记生效日:20090911 |