六自由度精密定位平台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910046824.1

申请日：

2009-02-27

公开(公告)号：

CN101487989A

公开(公告)日：

2009-07-22

发明(设计)人：

马雨雷

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

B25H100

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-04	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754740569 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2009100468241 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
2010-12-29	授权	授权
2009-09-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-07-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一体式六自由度精密定位平台 [P].

林超 ;

才立忠 ;

陶友淘 .

中国专利 :CN103104793B ,2013-05-15

[2]

六自由度精密定位平台 [P].

江旭初 ;

齐芊枫 .

中国专利 :CN101488371B ,2009-07-22

[3]

一种三自由度精密定位平台 [P].

蔡坤海 ;

田延岭 ;

张大卫 .

中国专利 :CN203686505U ,2014-07-02

[4]

一种三自由度精密定位平台 [P].

蔡坤海 ;

田延岭 ;

张大卫 .

中国专利 :CN103727364B ,2014-04-16

[5]

两自由度微动定位平台 [P].

王文 ;

朱珠 ;

余建平 .

中国专利 :CN101887761A ,2010-11-17

[6]

二自由度纳米定位平台 [P].

田延岭 ;

秦岩丁 ;

张大卫 ;

田佳 .

中国专利 :CN102998899B ,2013-03-27

[7]

一种新型三自由度柔性精密定位平台 [P].

张旺旺 ;

黄道阳 ;

陈晓舟 ;

刘韶轩 .

中国专利 :CN214099170U ,2021-08-31

[8]

五自由度精密定位平台 [P].

王勇 ;

刘志刚 ;

薄锋 ;

朱健强 .

中国专利 :CN1588556A ,2005-03-02

[9]

一种二自由度宏微精密定位平台装置 [P].

邱志成 ;

姚锡森 ;

张宪民 .

中国专利 :CN210589272U ,2020-05-22

[10]

一种平面三自由度精密定位平台 [P].

张宪民 ;

王华 ;

欧阳高飞 ;

邓俊广 ;

卢盛林 .

中国专利 :CN2758935Y ,2006-02-15

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