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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-10-28 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101722809091 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:201110242545X 申请公布日:20120627 |
| 2012-06-27 | 公开 | 公开 |
| 2013-07-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101495552247 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:201110242545X 申请日:20110817 |