一种减压干燥设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120192355.7

申请日：

2011-06-09

公开(公告)号：

CN202067075U

公开(公告)日：

2011-12-07

发明(设计)人：

李勃

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F738

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

黄志华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-25	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/38 申请日:20110609 授权公告日:20111207
2011-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种减压干燥设备 [P].

张振宇 ;

韩亚军 ;

龚磊 ;

吴克芳 ;

陈国 .

中国专利 :CN205762150U ,2016-12-07

[2]

真空减压干燥设备 [P].

郭杨辰 ;

汪栋 .

中国专利 :CN203811942U ,2014-09-03

[3]

减压干燥设备 [P].

金建龙 .

中国专利 :CN107219727A ,2017-09-29

[4]

一种减压干燥设备 [P].

管源 .

中国专利 :CN109445251B ,2019-03-08

[5]

减压干燥设备及减压干燥方法 [P].

龚成波 .

中国专利 :CN107315325A ,2017-11-03

[6]

一种减压干燥腔及真空减压干燥设备 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN107062812B ,2017-08-18

[7]

真空减压干燥设备 [P].

郭开超 .

中国专利 :CN107413603A ,2017-12-01

[8]

一种真空减压干燥设备 [P].

管小明 .

中国专利 :CN205494997U ,2016-08-24

[9]

一种支撑件及减压干燥设备 [P].

张心杰 ;

吴昌樺 ;

赵武 ;

张卫帅 ;

丁瑞 .

中国专利 :CN205899241U ,2017-01-18

[10]

基板承载结构和减压干燥设备 [P].

罗秋园 ;

王旭升 .

中国专利 :CN209131335U ,2019-07-19

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