用于光刻设备的工件台位置误差补偿方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210181489.8

申请日：

2012-06-05

公开(公告)号：

CN103454862A

公开(公告)日：

2013-12-18

发明(设计)人：

林彬李煜芝毛方林

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-18	授权	授权
2014-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101562732241 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012101814898 申请日:20120605
2017-12-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2013-12-18	公开	公开

共 50 条

[1]

工件台位置误差测量及预先补偿的方法 [P].

林彬 ;

段立峰 .

中国专利 :CN103293865B ,2013-09-11

[2]

工件台位置水平误差测量及校正方法 [P].

林彬 .

中国专利 :CN101510058A ,2009-08-19

[3]

用于光刻设备的工件台 [P].

张锋 ;

齐芊枫 .

中国专利 :CN101354537B ,2009-01-28

[4]

校正工件台倾斜误差的方法及光刻装置 [P].

杨泽雷 .

中国专利 :CN113741148B ,2021-12-03

[5]

套刻误差补偿方法及光刻曝光方法 [P].

田范焕 ;

梁时元 ;

贺晓彬 ;

李亭亭 ;

杨涛 ;

刘金彪 .

中国专利 :CN114518693A ,2022-05-20

[6]

误差补偿方法、系统及全自动接近式光刻设备 [P].

夏玉龙 .

中国专利 :CN117891141A ,2024-04-16

[7]

套刻误差补偿方法及光刻曝光方法 [P].

田范焕 ;

梁时元 ;

贺晓彬 ;

李亭亭 ;

杨涛 ;

刘金彪 .

中国专利 :CN114518693B ,2024-05-17

[8]

基于工件装配的误差补偿方法、装置、设备及存储介质 [P].

黄亮 ;

刘思仁 ;

薛雷 ;

刘华莹 ;

吴凡 ;

陈家祥 .

中国专利 :CN117428754A ,2024-01-23

[9]

一种误差补偿设备及误差补偿方法 [P].

景小红 .

中国专利 :CN111240057A ,2020-06-05

[10]

成像设备的位置校准和误差补偿装置及其补偿方法 [P].

黎维娟 ;

安陆军 .

中国专利 :CN104414662A ,2015-03-18

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