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一种光刻胶的收集装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820231493.3
申请日：
2018-02-09
公开(公告)号：
CN207868178U
公开(公告)日：
2018-09-14
发明(设计)人：
刘鹏
罗帅
季海铭
徐鹏飞
官成钢
申请人：
申请人地址：
221300 江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路北侧、华山北路西侧
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
G03F726
代理机构：
武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙) 42228
代理人：
邓寅杰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-09-14 | 授权 | 授权 |
| 2023-01-06 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/673 登记生效日:20221227 变更事项:专利权人 变更前权利人:江苏华兴激光科技有限公司 变更后权利人:江苏华兴激光科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:221300 江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路北侧、华山北路西侧 变更后权利人:221300 江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路北侧、华山北路西侧 变更事项:专利权人 变更前权利人:武汉凹伟能源科技有限公司 |