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MEMS换能器、MEMS麦克风以及制造MEMS换能器的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910775916.7
申请日：
2019-08-21
公开(公告)号：
CN112423210A
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
熊伟
何飞
饭岛淳
申请人：
申请人地址：
中国香港新界沙田香港科学园科技大道东6号新科中心
IPC主分类号：
H04R1904
IPC分类号：
H04R3100
代理机构：
深圳永慧知识产权代理事务所(普通合伙) 44378
代理人：
宋鹰武
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H04R 19/04 申请日:20190821 |