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工件固持加热设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011109040.1
申请日：
2016-03-01
公开(公告)号：
CN112234000A
公开(公告)日：
2021-01-15
发明(设计)人：
孙大伟
D·杰弗里·里斯查尔
史蒂芬·M·恩尔拉
岱尔·K·史东
留德米拉·史东
申请人：
申请人地址：
美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
杨贝贝;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-15 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20160301 |