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高精度曝光自动控制器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201120460043.X
申请日：
2011-11-18
公开(公告)号：
CN202331000U
公开(公告)日：
2012-07-11
发明(设计)人：
陈丽坚
车小莉
秦欣
申请人：
申请人地址：
610000 四川省成都市高新技术开发区永丰路24号附1号
IPC主分类号：
G03B2772
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-07-11 | 授权 | 授权 |
| 2014-12-31 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101594307780 IPC(主分类):G03B 27/72 专利号:ZL201120460043X 申请日:20111118 授权公告日:20120711 终止日期:20131118 |