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大型磁控溅射镀膜机的真空室结构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910997250.X
申请日：
2019-10-20
公开(公告)号：
CN110629181A
公开(公告)日：
2019-12-31
发明(设计)人：
刘国利
周毅
李国强
申请人：
申请人地址：
411100 湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
C23C1456
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20191020 |
| 2019-12-31 | 公开 | 公开 |