一种自组装三维微纳结构的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201911426794.7
申请日
2019-12-31
公开(公告)号
CN111694219A
公开(公告)日
2020-09-22
发明(设计)人
梁飞燕 童欣 王九鑫 何智恒 耿可佳 赵毅婕
申请人
申请人地址
710065 陕西省西安市高新区丈八街办高新三路8号橙仕空间10715
IPC主分类号
G03F716
IPC分类号
G03F720 G03F738 B81C100
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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[5]
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[8]
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任山 ;
孟嘉欣 ;
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肖敏 ;
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[9]
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[10]
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