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一种自组装三维微纳结构的制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201911426794.7
申请日
:
2019-12-31
公开(公告)号
:
CN111694219A
公开(公告)日
:
2020-09-22
发明(设计)人
:
梁飞燕
童欣
王九鑫
何智恒
耿可佳
赵毅婕
申请人
:
申请人地址
:
710065 陕西省西安市高新区丈八街办高新三路8号橙仕空间10715
IPC主分类号
:
G03F716
IPC分类号
:
G03F720
G03F738
B81C100
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-09-22
公开
公开
共 50 条
[1]
一种三维微纳折纸结构的制备方法
[P].
顾长志
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顾长志
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潘如豪
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潘如豪
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李俊杰
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李俊杰
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金爱子
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金爱子
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杨海方
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杨海方
.
中国专利
:CN110143566A
,2019-08-20
[2]
一种制备三维金属微纳结构的方法
[P].
不公告发明人
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不公告发明人
.
中国专利
:CN110272017A
,2019-09-24
[3]
一种三维微纳结构导电电极元件的制备方法
[P].
李小杰
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李小杰
;
吴倩
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吴倩
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魏玮
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魏玮
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刘仁
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刘仁
;
刘晓亚
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刘晓亚
.
中国专利
:CN110333274A
,2019-10-15
[4]
一种微纳三维混合结构的制备方法
[P].
李海亮
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李海亮
;
张晓萌
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张晓萌
;
姚楚豪
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姚楚豪
;
谢常青
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谢常青
.
中国专利
:CN114464527A
,2022-05-10
[5]
一种可转移的三维微纳结构的制备方法
[P].
王英
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机构:
上海交大平湖智能光电研究院
上海交大平湖智能光电研究院
王英
;
刘韦卓
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机构:
上海交大平湖智能光电研究院
上海交大平湖智能光电研究院
刘韦卓
;
何斌
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机构:
上海交大平湖智能光电研究院
上海交大平湖智能光电研究院
何斌
;
陆熠磊
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上海交大平湖智能光电研究院
上海交大平湖智能光电研究院
陆熠磊
.
中国专利
:CN118754053A
,2024-10-11
[6]
基于纳米探针的微纳三维结构制备方法
[P].
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机构:
张一慧
;
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机构:
薛兆国
;
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机构:
吕增耀
;
白柯
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机构:
清华大学
清华大学
白柯
;
王月皎
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清华大学
清华大学
王月皎
;
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机构:
赵建中
;
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机构:
兰宇
;
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柏韧恒
;
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赖禹辰
;
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帅雨萌
.
中国专利
:CN117842927A
,2024-04-09
[7]
一种三维GeSn微纳尺度悬臂结构的制备方法
[P].
韩奕
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韩奕
;
李耀耀
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李耀耀
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宋禹忻
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宋禹忻
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朱忠赟珅
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朱忠赟珅
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张振普
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张振普
;
曹春芳
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曹春芳
;
王庶民
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王庶民
.
中国专利
:CN106744657A
,2017-05-31
[8]
一种三维微纳结构器件的制备装置及方法
[P].
任山
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任山
;
孟嘉欣
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孟嘉欣
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洪澜
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洪澜
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孟跃中
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孟跃中
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肖敏
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肖敏
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王拴紧
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王拴紧
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韩冬梅
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韩冬梅
.
中国专利
:CN106801248A
,2017-06-06
[9]
三维微纳结构印章的制备及批量复制方法
[P].
孙洪文
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孙洪文
;
林善明
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林善明
.
中国专利
:CN101613076A
,2009-12-30
[10]
三维微纳结构光刻系统及其方法
[P].
邵仁锦
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邵仁锦
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浦东林
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浦东林
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朱鹏飞
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朱鹏飞
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张瑾
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张瑾
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朱鸣
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朱鸣
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徐顺达
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徐顺达
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吕帅
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吕帅
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陈林森
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陈林森
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中国专利
:CN112799286B
,2021-05-14
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