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三维铁电存储器及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011255637.7
申请日：
2020-11-11
公开(公告)号：
CN112382633A
公开(公告)日：
2021-02-19
发明(设计)人：
郭美澜
申请人：
申请人地址：
214135 江苏省无锡市新吴区弘毅路8号东庄电力电子科技园金帛座502室
IPC主分类号：
H01L2711507
IPC分类号：
H01L2711514
H01L2364
H01L218246
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/11507 申请日:20201111 |
| 2021-02-19 | 公开 | 公开 |