一种硅反应装置

被引：0

申请号：

CN202210226245.0

申请日：

2022-03-09

公开(公告)号：

CN114597145A

公开(公告)日：

2022-06-07

发明(设计)人：

王美玲田才忠贾海立

申请人：

申请人地址：

102600 北京市大兴区北京经济技术开发区荣华南路15号院2号楼7层703室（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

F17D102 F17D301

代理机构：

北京市竞天公诚律师事务所 11770

代理人：

陈果

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220309
2022-06-07	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅反应装置 [P].

项习飞 ;

田才忠 ;

林保璋 ;

李士昌 .

中国专利 :CN114664707A ,2022-06-24

[2]

一种硅反应装置 [P].

项习飞 ;

田才忠 ;

李士昌 ;

王美玲 .

中国专利 :CN114664706A ,2022-06-24

[3]

一种硅反应装置 [P].

项习飞 ;

田才忠 ;

王美玲 ;

贾海立 .

中国专利 :CN217903077U ,2022-11-25

[4]

一种硅反应装置 [P].

项习飞 ;

田才忠 ;

林保璋 ;

余先炜 .

中国专利 :CN114602401A ,2022-06-10

[5]

一种硅反应装置 [P].

王美玲 ;

田才忠 ;

林保璋 .

中国专利 :CN218182164U ,2022-12-30

[6]

一种硅晶圆反应装置 [P].

项习飞 ;

田才忠 ;

李士昌 ;

王美玲 .

中国专利 :CN216902834U ,2022-07-05

[7]

一种黑硅钝化用反应装置 [P].

何其金 ;

张靖 ;

何飞 .

中国专利 :CN111725351A ,2020-09-29

[8]

一种氢氟酸蒸汽刻蚀硅反应装置 [P].

彭奎庆 ;

胡雅 .

中国专利 :CN205329160U ,2016-06-22

[9]

一种优化的硅化镁反应装置 [P].

曹晓斌 .

中国专利 :CN202116325U ,2012-01-18

[10]

一种黑硅钝化用反应装置 [P].

何其金 ;

张靖 ;

何飞 .

中国专利 :CN209592065U ,2019-11-05

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