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湿式制程设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610440307.2
申请日：
2016-06-17
公开(公告)号：
CN107459263A
公开(公告)日：
2017-12-12
发明(设计)人：
黄荣龙
吕峻杰
陈滢如
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹市
IPC主分类号：
C03C1500
IPC分类号：
C03C2300
代理机构：
深圳新创友知识产权代理有限公司 44223
代理人：
江耀纯
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-12-12 | 公开 | 公开 |
| 2018-01-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C03C 15/00 申请日:20160617 |