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真空镀膜机真空泵的保养维护装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610573130.3
申请日：
2016-07-19
公开(公告)号：
CN107630202A
公开(公告)日：
2018-01-26
发明(设计)人：
章少英
申请人：
申请人地址：
312500 浙江省新昌县澄潭镇东西城村东陈110号
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-11 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/56 申请公布日:20180126 |
| 2018-01-26 | 公开 | 公开 |