单晶衬底和微机械结构的加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710890273.1

申请日：

2017-09-27

公开(公告)号：

CN107867673A

公开(公告)日：

2018-04-03

发明(设计)人：

A·布罗克迈尔 R·拉普 F·J·桑托斯罗德里奎兹

申请人：

申请人地址：

德国诺伊比贝尔格

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B300

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郑立柱

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20170927
2018-04-03	公开	公开

共 50 条

[1]

单晶衬底和微机械结构的加工方法 [P].

A·布罗克迈尔 ;

R·拉普 ;

F·J·桑托斯罗德里奎兹 .

德国专利 :CN107867673B ,2024-04-16

[2]

微机械结构和制造微机械结构的方法 [P].

苏迪兰赞·特里帕斯 ;

维克纳什·s/o·莎姆伽纳赞 .

中国专利 :CN101583559B ,2009-11-18

[3]

用于制造微机械结构的方法和微机械结构 [P].

A·乌尔班 ;

J·赖因穆特 ;

L·富克斯 ;

T·弗里德里希 .

中国专利 :CN113548637A ,2021-10-26

[4]

微机械结构和用于制造微机械结构的方法 [P].

J·克拉森 .

中国专利 :CN103213934A ,2013-07-24

[5]

微机械结构和用于制造微机械结构的方法 [P].

J·克拉森 ;

C·比尔霍夫 .

中国专利 :CN102030302A ,2011-04-27

[6]

微机械结构和用于制造微机械结构的方法 [P].

G.德尼夫尔 ;

T.弗里施穆特 ;

T.格里勒 ;

U.黑德尼希 ;

M.卡恩 ;

D.毛雷尔 ;

U.施密德 ;

M.施奈德 .

中国专利 :CN107539942B ,2018-01-05

[7]

微机械结构和用于制造微机械结构的方法 [P].

B·维森特 .

中国专利 :CN111315916B ,2020-06-19

[8]

用于制造微机械结构的方法和微机械结构 [P].

J·克拉森 ;

J·莱茵穆特 ;

S·京特 ;

P·布斯蒂安-托多罗娃 .

中国专利 :CN102951601B ,2013-03-06

[9]

微机械热结构和制造该微机械结构的方法 [P].

D·J·布罗尔 ;

G·N·莫尔 ;

C·M·R·德维茨 .

中国专利 :CN1729086B ,2006-02-01

[10]

GaN单晶衬底和GaN单晶衬底的表面加工方法 [P].

郑镇石 ;

李基秀 ;

金京俊 ;

李柱宪 ;

秦昌旭 .

中国专利 :CN101174597A ,2008-05-07

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