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一种翘曲的单悬梁式气体传感器、制备方法及传感器阵列
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810447587.9
申请日：
2018-05-11
公开(公告)号：
CN108519409A
公开(公告)日：
2018-09-11
发明(设计)人：
许磊
谢东成
彭书峰
申请人：
申请人地址：
230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼16层1608-1610室
IPC主分类号：
G01N2712
IPC分类号：
代理机构：
合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124
代理人：
王亚洲
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-09-11 | 公开 | 公开 |
| 2018-10-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/12 申请日:20180511 |