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一种旋转导气结构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920094621.9
申请日：
2019-01-21
公开(公告)号：
CN209282178U
公开(公告)日：
2019-08-20
发明(设计)人：
文祖军
申请人：
申请人地址：
523430 广东省东莞市寮步镇上屯工业区百业大道18号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
东莞市永桥知识产权代理事务所(普通合伙) 44400
代理人：
何新华
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-23 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:中之半导体科技（东莞）有限公司 变更后:先之科半导体科技（东莞）有限公司 变更事项:地址 变更前:523430 广东省东莞市寮步镇上屯工业区百业大道18号 变更后:523430 广东省东莞市寮步镇寮步百业路76号1栋103室 |
| 2019-08-20 | 授权 | 授权 |